周日的早晨，天音芯片廠車間里，段云以及吳剛帶領(lǐng)的7名技術(shù)人員，還有那兩名荷蘭工程師，早早就等待了無塵車間的C區(qū)，準(zhǔn)備對(duì)新生產(chǎn)線進(jìn)行最后的測(cè)試。

        吳剛等7名技術(shù)人員全部簽訂了保密協(xié)議，他們也是整個(gè)芯片廠幾十名技術(shù)人員中，少數(shù)有資格進(jìn)入C區(qū)的工作人員。

        因?yàn)檫@4臺(tái)阿斯麥光刻機(jī)還屬于禁運(yùn)產(chǎn)品，為了不給阿斯麥公司造成麻煩，段云對(duì)新生產(chǎn)線的消息進(jìn)行了嚴(yán)格封鎖，并且將機(jī)器上的logo和標(biāo)識(shí)全部刮除，重新刷上了一層防銹漆，整個(gè)機(jī)器找不到關(guān)于廠家的任何標(biāo)志。

        另外C區(qū)連接目前東芝生產(chǎn)線的A區(qū)只有一個(gè)產(chǎn)品通行傳輸帶，從東芝生產(chǎn)線生產(chǎn)出來的晶圓片會(huì)通過傳輸帶運(yùn)到C區(qū)，經(jīng)過光刻處理之后，再重新傳送到A區(qū)，新車間非常的隱蔽，人員過道還加裝了磁卡門禁，這道門禁支持錄入20張磁卡，沒有磁卡的人是無法進(jìn)入C區(qū)的。

        “可以開始了嗎？”一切準(zhǔn)備就緒之后，段云對(duì)兩名荷蘭工程師問道。

        “可以了?！蔽纳貞?yīng)了一聲，然后坐在控制臺(tái)上，輸入一串密碼后，啟動(dòng)了光刻機(jī)。

        相比于日本的東芝光刻機(jī)，阿斯麥的光刻機(jī)外觀看起來更加的緊湊，主要分為三個(gè)部分，曝光臺(tái)，測(cè)量臺(tái)，以及擁有兩個(gè)顯示器的操作臺(tái)。

        隨著操作臺(tái)主顯示器上一串代碼閃過之后，曝光臺(tái)開始發(fā)出了輕微的嗡鳴聲，緊接著圓晶片開始進(jìn)入光刻階段。

        這一刻在場(chǎng)的所有的人都屏住了呼吸，空氣仿佛都凝固了一般。

        因?yàn)闆]有一微米制成芯片技術(shù)的掩膜，所以段云采用的還是東芝公司三微米制程技術(shù)的fsh閃存芯片掩膜，同時(shí)還有學(xué)習(xí)機(jī)上專用的仿制版6微米制程的6052芯片掩膜。

        很快，10片圓晶片只用了不到5分鐘就完成了光刻程序，經(jīng)過傳輸帶，傳回了A區(qū)的生產(chǎn)車間，在那里，這10片圓晶片還有經(jīng)過蝕刻等一系列工序處理，最后進(jìn)行成品率檢驗(yàn)。

        完成10片F(xiàn)sh芯片圓晶片光刻處理之后，兩名阿斯麥的工程師又重新更換了掩膜，準(zhǔn)備再加工20片6052仿制品的芯片。

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